工位数 Number operating positions | 10 |
预真空室数 Number of fore-vacuum chamber | 2 |
工作室极限压力（Pa） Ultimate pressure of chamber | 6×10⁻¹ |
预真空室极限压力（Pa） Ultimate pressure of fore-vacuum chamber | 2.6×10³ |
各工作室抽气速率（L/S） Pumping speed of each chamber | 2 |
泵转速（r/min） Rotational speed of pump | 500 |
用油量（L） Consumption of oil | 12 |
电机功率（Kw） Motor power | 1.5 |
