项 目
Item | 性 能
performance |
进气口通经(mm)
Air inlet passage (mm) | 720 |
排气口通经(mm)
Exhaust opening pass (mm) | 160 |
名义抽气速度（l/s）无水冷阱
Nominal pumping speed (l / s)
without water cooling trap | ≥22000 |
名义抽气速度（l/s）装有水冷阱
Nominal pumping speed (l / s)
with water-cooled trap | ≥11000 |
有效抽气速度（装有水冷阱）
Effective pumping speed (with water-cooled trap) | ≥11000L/S |
极限压力（Pa）（装有水冷阱）
Ultimate pressure (Pa) (with water-cooled trap) | ≤5.0×10-5 |
空载临界前级压力（Pa）
No-load critical back pressure (Pa)
Use pump oil | ≥36 |
满载临界前级压力（Pa）
Critical back pressure at full load (Pa) | ≥30 |
使用泵油
Pump oil | DC705/275硅油
Silicone oil |
使用泵油量（L）
Pump oil volume (L) | 11 |
泵油返流率（装有水冷阱）（mg/cm2.min）
Pump oil return rate
(with water cooling trap) (mg / cm2.min) | ＜10-5 |
使用电量（KW）
Power consumption (KW) | 12 |
加热方式
heating method | 加热管浸入油中加热
Heating tube immersed in oil to heat |
冷却方式
cooling method | 强制水冷
Forced water cooling |
使用冷却水流量（L/min）
Use cooling water flow (L / min) | 10 |
冷却水连接口
Cooling water connection | G3/8（8处） G1/8(2处)
G3/8-8 places；G1/8-2 places |
预热时间（min）
Warm-up time (min) | 80 |
重量（Kg）
Weight (Kg) | ～380 |
