型号 Mode 技术参数
Technical Data | P431-2 | P436-1 | P431-1 | P432-1 |
主极限真空度
Ultimate Vacuum | ≤2×10-6Pa | 10-6Pa | ≤3×10-7Pa | ≤3×10-8Pa |
烘箱真空
Baking Chamber Vacuum | ≤1×10-1Pa | 5 Pa | 2 Pa | 5 Pa |
烘箱工作空间
Baking Chamber Dimension | Ф500×1200 mm | Ф700×700 mm | Ф460×500 mm | Ф200×1200 mm |
真空系统
Vacuum System | 分子泵系统
Turbo Pump System | 分子泵系统
Turbo Pump
System | 离子泵系统
Ion Pump System | 冷凝泵系统
Cryopump System
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最高温度
Max.Temperature | 650℃ | 600℃ | 600℃ | 600℃ |
温度均匀性（轴向）
Temperature Uniformity | ≤±5℃三点测温
(3 point measurement) | ±10℃ | ±5℃ | ≤±5℃三点测温
(3 point measurement) |
抽气速度
Pumping Speed | ≥450 L/S | ≥450L/S | ≥450L/S | ≥450L/S |
加热功率
Heating Power | 12 KW | 18 KW（10可调，8固定）
(10 adjustable,8 fixed) | 9 KW | 10 KW |
总功率
Total Power | 15 KW | 22 KW | 13 KW | 15 KW |
加热方式
Heating Mode | 外加热
Outside Heating | 外加热
Outside Heating | 内加热
Inside Heating | 内加热
Inside Heating
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