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●独特的悬臂结构能快速完成转子和壳体清洁，不用拆除其余零件； ●悬臂结构使真空级与泵油隔开，防止泵油进去真空腔室以及制程气体污染真空泵油； ●转子内部冷却，可精确控制转子温度，避免工艺物沉积; ……
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