| 型号 Model |
FF-250/1600 |
FF-160/620 |
| ******工作压力Minimum operational pressure（Pa） |
<1×10-6 |
<6×10-7 |
| 抽气速率（对空气）Pumping speed for air（L/s） |
1700 |
600 |
| 压缩比Compression ratio |
对氮气 For N2 |
＞108 |
＞109 |
| 对氢气 For H2 |
＞5×103 |
＞6×103 |
| 进气口法兰Inlet flange |
LF250（DN250 IS0-K） |
DN160CF |
| 排气口法兰Outlet flange |
KF50（DN50 IS0-KF） |
KF40 |
| 启动时间Starting time（min） |
≤8 |
≤5 |
| 额定转速Rated rotational speed （r/min） |
27000 |
27000 |
| 振动值Libration value（μm） |
≤0.1 |
≤0.1 |
| 注油量Oiling capacity （ml） |
210 |
210 |
| 推荐前级泵Recommended forevacuum pump |
2XZ-15D（15L/s） |
2XZ-4B/2XZ-8D（4-8L/s） |
| 轴承Bearing |
精密陶瓷球轴承
Precision ceramic balls bearing |
精密陶瓷球轴承
Precision ceramic balls bearing |
| 安装方式Operational orientation |
竖直Vertical（±5°） |
竖直Vertical（±5°） |
| 冷却方式Cooling method |
水冷 Water cooling |
水冷 Water cooling |
| 冷却水温度Cooling water temperature（℃） |
≤25 |
≤25 |
| 冷却水压力Cooling water pressure（MPa） |
0.196 |
0.196 |
| 泵体烘烤温度Pump body baking temperature（℃） |
≤100 |
≤100 |
| 环境温度Environment temperature（℃） |
5～40 |
5～40 |
| 重量Weight（Kg） |
47 |
30 |
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